精密洗浄データ

現在、清浄度の最高峰は高真空・超微細精密分野の半導体製造装置のﾁｬﾝﾊﾞｰ周辺や電子ﾋﾞｰﾑ応用機器等が、その対象範囲になります。
弊社の精密洗浄はﾌﾟﾚ洗浄→超音波洗浄→市水洗浄→純水洗浄の設備と洗浄技術を保有し、更に包装材料・包装方法も含めお客様の希望に合わせた内容を提案させて頂きます。
ある装置ﾒｰｶｰの社内規格上の残留油分値は0.5μｇ/cm2以下で運用されており、弊社の精密洗浄ではそれ下回る数値で提供させて頂き、高い評価を頂戴しています。
また銅系材料の酸化膜も特殊処理に依り除去を行い、酸化前の綺麗な銅素地肌にし真空包装を行いその状態を持続する事も可能です。

完全洗浄した金属表面の臨界表面張力は72dynの水も表面張力を失い濡れるようになります。
この状態の残留油分指数を「1」とした時の残留油分を指数で表した物が添付「清浄度(残留油分)とぬれ指数の関係」です。
従いまして基準値の72dyn＝残留油分指数「1」としますと38dyn＝10倍、36dyn＝40倍の　残留油分が存在する事になります。
参考値ですが38dyn＝約1μg/cm2、36dyn＝約4μg/cm2の残留油分が存在する事になります。

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市水洗浄後と更に純水洗浄を付加した場合の残留ｲｵﾝ値を計測した物です。
研磨後の清浄度の必要性を求める(市水洗浄又は純水洗浄)判断になります。

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