 Ohki Industry Co.,Ltd    |
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精密洗浄 |
| 現在、清浄度の最高峰は高真空・超微細精密分野の半導体製造装置のﾁｬﾝﾊﾞｰ周辺や電子ﾋﾞｰﾑ応用機器等が、 その対象範囲になります。 弊社の精密洗浄はﾌﾟﾚ洗浄→超音波洗浄→市水洗浄→純水洗浄の設備と洗浄技術を保有し、更に包装材料・包 装方法も含めお客様の希望に合わせた内容を提案させて頂きます。 一般的装置ﾒｰｶｰの規格では、残留油分値は0.5μｇ/cm2以下で運用されておりますが、弊社の精密洗浄ではそ れ以上の洗浄精度で提供させていただいており、高い評価を頂戴しています。 また酸化しやすい銅系材料の酸化膜も特殊処理に依り除去を行い、酸化前の綺麗な銅素地肌にし真空包装を行い その状態を持続する事も可能です。 |
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| 洗浄度(残留油分)とぬれ指数の関係 | |
完全洗浄した金属表面の臨界表面張力は72dyn/cmの水も表面張力を失い濡れるようになります。この状態の残
留油分指数を「1」とした時の残留油分を指数で表したものです。 基準値の72dyn/cm＝残留油分指数「1」としますと38dyn＝10倍、36dyn＝40倍の残留油分が存在する事になりま
す。参考値ですが38dyn＝約1μg/cm2、36dyn＝約4μg/cm2の残留油分が存在する事になります。 |
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| 精密洗浄テストデータ | |
| 市水洗浄後と更に純水洗浄を付加した場合の残留ｲｵﾝ値を計測したものです。研磨後の清浄度の必要性を求める (市水洗浄又は純水洗浄)判断になります。 |
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